表面平整度测量的新方法研究

表面平整度测量的新方法研究

介绍了用反射干涉频谱法测量透明或半透明薄膜表面平整度的方法,薄膜厚度的测量范围约在0.2～20 μm(小于20 μm)之间.在对二氧化硅薄膜的测试中,该测试方法与椭圆偏振仪的测试结果相比较,其纵向测量误差小于2 nm.通过光纤传感器在薄膜上的移动,对薄膜上各点的反射光谱进行分析,得到各点的厚度.通过步进电机的移动,连续测量膜上不同点的厚度,从而获得薄膜的表面形貌.该方法对薄膜无破坏作用,且无需测量干涉条纹,与其他的非接触式测试方法相比较,具有无横向测试范围限制、测试系统结构简单、测试精度高、测试结果可靠的特点,因此有较强的实用性.

作 者： 孙艳 王昭 谭玉山   作者单位： 西安交通大学机械工程学院,710049,西安  刊 名： 西安交通大学学报  ISTIC EI PKU 英文刊名： JOURNAL OF XI'AN JIAOTONG UNIVERSITY  年，卷(期)： 2003 37(3)  分类号： O433  关键词： 干涉   光纤   频谱仪   表面平整度  

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