基于非相干光反馈的表面轮廓测量仿真研究
对一种基于非相干光反馈的表面轮廓测量方法,对其进行了理论仿真研究.建立了基于非相干光反馈表面轮廓测量的系统模型,分析了不同反馈光耦合强度的输出特性,系统的稳定状态,注入电流对系统的影响,以及反馈强度和表面深度的关系.结果证明该方法的可行性,研究结果对系统参数设计具有参考价值.
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