基于非相干光反馈的表面轮廓测量仿真研究

基于非相干光反馈的表面轮廓测量仿真研究

对一种基于非相干光反馈的表面轮廓测量方法,对其进行了理论仿真研究.建立了基于非相干光反馈表面轮廓测量的系统模型,分析了不同反馈光耦合强度的输出特性,系统的稳定状态,注入电流对系统的影响,以及反馈强度和表面深度的关系.结果证明该方法的可行性,研究结果对系统参数设计具有参考价值.

作 者： 许炯 马军山 胡菊菊 XU Jiong MA Junshan HU Juju   作者单位： 上海理工大学,光电信息与计算机工程学院,上海,200093  刊 名： 光学仪器  ISTIC 英文刊名： OPTICAL INSTRUMENTS  年，卷(期)： 2009 31(6)  分类号： O43  关键词： 非相干光反馈   表面轮廓测量   非接触测量   仿真研究  

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