微纳米薄膜的悬浮腐蚀法
介绍了一种腐蚀薄膜的研制方法及其装置.为制备带有各种金属引线及电极的大面积超薄悬浮薄膜(厚度:50～500nm、1～5μm;面积:3mm×2mm、10mm×5mm)提供了一种有效的方法.提高成品率30%,具有装置结构简单、支架体积小、质量轻、易于加工、操作方便、经济耐用、造型可根据器件需要加工设计等优点.
作 者： 陈绍凤 夏善红 宋青林 张建刚 作者单位： 中国科学院电子学研究所,传感技术国家重点实验室,北京,100080 刊 名： 半导体学报 ISTIC EI PKU 英文刊名： CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS 年，卷(期)： 2003 24(z1) 分类号： O484.1 关键词： 悬浮 薄膜 腐蚀