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DMD弹性片同基底之间粘着力计算
随着材料尺寸、加工尺寸的日趋减小,粘着力对微电子机械性能影响越来越大.本文建立了DMD弹性片同基底之间纳米接触的物理模型;根据Hamaker理论和赫兹理论,用连续方法推导出粘着力的力学模型;仿真出粘着力及变形面同接触间距的关系;仿真结果同相关实验一致;从而为DMD设计,加工及纳米碰撞、纳米摩擦的研究提供理论基础.
作 者： 田文超 贾建援 作者单位： 西安电子科技大学机电工程学院,西安,710071 刊 名： 仪器仪表学报 ISTIC EI PKU 英文刊名： CHINESE JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENT 年，卷(期)： 2003 24(z1) 分类号： O3 关键词： 微电子机械 纳米接触 DMD 粘着力【DMD弹性片同基底之间粘着力计算】相关文章：
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