静电自组装技术及其应用
静电自组装技术有许多优点:工艺简单,能精确控制膜厚,每层膜厚都能控制在分子级水平,膜的稳定性较传统方法有较大提高,适用于制造大面积的薄膜器件.本文综述了静电自组装技术的特点、注意事项及其应用前景.
作 者: 李小甫 余海湖 姜德生 作者单位: 武汉理工大学光纤传感技术研究中心,武汉,430070 刊 名: 高技术通讯 ISTIC EI PKU 英文刊名: HIGH TECHNOLOGY LETTERS 年,卷(期): 2002 12(11) 分类号: O441 关键词: 分子器件 静电自组装 薄膜,平面光波导