液相电化学沉积法制备高氮含量CNx薄膜及性能的研究

液相电化学沉积法制备高氮含量CNx薄膜及性能的研究

采用液相电化学沉积法, 以二氰二胺的丙酮溶液为沉积液, 以镀有ITO(铟锡氧化膜)的导电玻璃为衬底制备了CNx薄膜. 初步探讨了沉积温度和沉积电压对薄膜中氮含量的影响. 通过XPS、 FTIR光谱、 SEM和US-Vis光谱对得到的CNx薄膜的化学结合状态、结构形貌和光学性质进行了表征, 并用高电阻仪对薄膜的绝缘性进行了分析. XPS结果表明, CNx薄膜中碳氮主要以单键连接, sp3杂化的C-N键占85%. 在IR光谱中, 仅出现了C-N键和CN双键的吸收峰. SEM图谱显示CNx薄膜呈颗粒状, 粒径平均为80 nm左右. 在水浴加热条件下沉积的CNx薄膜在200～300 nm近紫外区为非线性吸收. 薄膜的电阻率随氮含量的增加而增大, 测量值在1012～1016 Ω*cm之间.

作 者： 张加涛 曹传宝 吕强 李超 朱鹤孙   作者单位： 北京理工大学材料科学研究中心,北京,100081  刊 名： 高等学校化学学报  ISTIC SCI PKU 英文刊名： CHEMICAL JOURNAL OF CHINESE UNIVERSITIES  年，卷(期)： 2003 24(7)  分类号： O614  关键词： CNx   电化学沉积   阴极   导电玻璃   二氰二胺  

【液相电化学沉积法制备高氮含量CNx薄膜及性能的研究】相关文章：

高导电聚苯胺薄膜的制备及其电磁屏蔽性能的研究04-26

电化学氧化法处理高氨氮废水的试验研究04-26

堇青石基体化学气相沉积碳化硅薄膜及其性能表征04-26

电化学氧化法处理高浓度氨氮废水的研究04-26

金刚石/银复合材料:制备、电泳沉积及场发射性能研究04-27

三相逆流湍动床气液传质性能的研究04-25

顶空法研究塑料薄膜对有机溶剂的吸附性能04-27

血污布的制备及其去污性能研究04-27

硅表面聚苯乙烯自组装超薄膜的制备及摩擦磨损性能研究04-27

气相CdCl2退火对CdTe多晶薄膜性能的影响04-26