超声喷雾热解法制备SnS薄膜的物性研究

超声喷雾热解法制备SnS薄膜的物性研究

摘要：用超声喷雾热解法制备SnS多晶薄膜,对比了三种不同前驱液配比浓度对SnS薄膜性能的影响.XRD测试表明,当前驱液为硫脲(0.5 mol·L-1)+四氯化锡(0.5 mol·L-1)+去离子水时,Sn()2的衍射峰强度比较大；当前驱液为硫脲(0.6 mol·L-1)+四氯化锡(0.5 mol·L-1)+去离子水时,SnS的'衍射峰占主要地位,其中也含有一定量的SnO2；当前驱液为硫脲(0.7 mol·L-1)+四氯化锡(0.5 mol·L-1)+去离子水时,退火后的薄膜为单一的SnS薄膜,具有斜方晶系结构.SEM观测发现,薄膜均匀、致密,前驱液中硫脲浓度较大时,颗粒也较大.透过谱测试表明,浓度对薄膜透过率影响较小.结合器件的暗I-V和C-V测试,用三种前驱液配比浓度所制备的器件的结特性差异不大;当前驱液中硫脲浓度较大时,载流子浓度相对较大. 作者： 唐萍黎兵雷智冯良桓蔡亚平郑家贵张静全李卫武莉莉曾广根 Author： TANG Ping  LI Bing  LEI Zhi  FENG Liang-huan  CAI Ya-ping  ZHENG Jia-gui  ZHANG Jing-quan  LI Wei  WU Li-li  ZENG Guang-gen 作者单位： 四川大学材料科学与工程学院,四川成都,610064 期 刊： 光谱学与光谱分析   ISTICEISCIPKU Journal： Spectroscopy and Spectral Analysis 年，卷(期)： 2011, 31(10) 分类号： O433.1 关键词： SnS    薄膜    超声喷雾热解法    前驱液浓度    机标分类号： TB3 O61 机标关键词： 超声喷雾热解    法制备    SnS薄膜    物性研究    Spray Pyrolysis    Thin Films    Physical Properties    前驱液    四氯化锡    去离子水    配比浓度    硫脲    衍射峰    测试    载流子浓度    薄膜透过率    斜方晶系    特性差异    器件    多晶薄膜 基金项目： 国家(863计划)课题项目，国家自然科学基金，四川省科技厅科技支撑计划项目

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