直流等离子体法中脱膜开裂的金刚石膜组织结构分析
为了解决用直流等离子体喷射法制备金刚石膜在脱膜过程中膜体开裂的问题,本文对3组脱膜开裂的金刚石膜组织结构进行了分析,发现由热应力作用产生的裂纹形貌随沉积温度的不同而呈现网状、河流状和环状,裂纹尖端的膜体具有最小的Raman 谱峰半高宽值.在所研究的温度范围内,膜体断口都是穿晶断裂和沿晶断裂的混合断口,而且断口面中的占优晶面都是{111}晶面.X射线和Raman谱结果还表明沉积温度愈高,膜体中的残余应力愈大.
作 者： 陈广超 李成明 张恒大 杨胶溪 佟玉梅 唐伟忠 吕反修 作者单位： 北京科技大学材料科学与工程学院,北京,100083 刊 名： 人工晶体学报 ISTIC EI PKU 英文刊名： JOURNAL OF SYNTHETIC CRYSTALS 年，卷(期)： 2003 32(5) 分类号： O484 关键词： 金刚石膜 裂纹 组织 晶面 直流等离子体喷射