溶胶-凝胶VO2薄膜转换特性研究?

溶胶-凝胶VO2薄膜转换特性研究?

利用溶胶-凝胶法在SiO2/Si 衬底上沉积高取向的V2O5薄膜,在压强低于2Pa,温度高于400℃的条件下,对V2O5薄膜进行真空烘烤,获得了电阻率变化3个数量级以上、弛豫宽度为6.2℃的VO2多晶薄膜.以X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)图和电阻率转换特性等实验结果为依据,详细分析了溶胶-凝胶薄膜在真空烘烤时从V2O5向VO2的转化,它经历了从VnO2n+1(n=2,3,4,6)到VO2的过程.实验证明,根据选择合适的成膜热处理条件和真空烘烤条件是实现溶胶-凝胶V2O5结构向VO2结构成功转换的关键.

作 者： 袁宁一 李金华 林成鲁   作者单位： 袁宁一(江苏石油化工学院信息科学系功能材料实验室,常州,213016；中国科学院上海冶金研究所信息功能材料国家重点实验室,上海,200050)

李金华(江苏石油化工学院信息科学系功能材料实验室,常州,213016)

林成鲁(中国科学院上海冶金研究所信息功能材料国家重点实验室,上海,200050) 

刊 名： 物理学报  ISTIC SCI PKU 英文刊名： ACTA PHYSICA SINICA  年，卷(期)： 2002 51(4)  分类号： O4  关键词： 溶胶-凝胶法   氧化钒薄膜   VO2膜转换特性  

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