动力学蒙特卡罗法体硅湿法刻蚀工艺仿真的研究与开发

动力学蒙特卡罗法体硅湿法刻蚀工艺仿真的研究与开发

对比分析了BKL、二叉树搜索以及树状结构搜索算法(KLS) 3种动力学蒙特卡罗法的实现过程,讨论了它们在MEMS各向异性湿法刻蚀工艺仿真计算中的应用,阐述了应用特点.使用树状结构搜索算法实现了加工仿真程序,以(111)晶面的原子移除过程为例,解释了蒙特卡罗法在刻蚀中的计算特点.开发的系统模拟了(311)晶面在KOH刻蚀中表面形貌的演化过程,刻蚀面能够很好地再现出表面的微观特征.基于KLS的方法能对湿法硅微结构工艺进行仿真计算,不同刻蚀阶段的微结构能与实验结果相一致,较为合理准确.

作 者： 戴乐薇 幸研 仇晓黎 汤文成 DAI Le-wei XING Yan QIU Xiao-li TANG Wen-cheng   作者单位： 东南大学,机械工程学院,江苏,南京,211189  刊 名： 中国制造业信息化  ISTIC 英文刊名： MANUFACTURING INFORMATION ENGINEERING OF CHINA  年，卷(期)： 2009 38(9)  分类号： O414.2  关键词： 蒙特卡罗   单晶硅   湿法腐蚀   表面形态