射频感应耦合等离子体调谐基片自偏压特性的进一步研究
在已有的调谐基片自偏压研究的基础上,进一步研究了基片台空间轴向位置对基片自偏压-调谐电容曲线的影响;研究了基片分支串联电阻对基片自偏压的影响,发现了在电阻值区自偏压自振荡现象;在不同的放电参数下,采用自制诊断工具测量了射频感应耦合等离子体电子温度、电子密度等参量的空间分布.并对基片自偏压相应的实验现象给出了物理模型解释.
杨艳,YANG Yan(大连水产学院,生命科学技术学院,辽宁,大连,116023)
丁振峰,DING Zhen-feng(大连理工大学,物理系,辽宁,大连,116024)
刊 名： 辽宁师范大学学报（自然科学版） ISTIC PKU 英文刊名： JOURNAL OF LIAONING NORMAL UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION) 年，卷(期)： 2008 31(2) 分类号： O539 关键词： 射频等离子体 调谐基片自偏压 正反馈