MEMS薄膜弹性模量及残余应力提取的数值算法
材料弹性模量、残余应力的在线提取,已成为MEMS领域中日益迫切的需要.文中首先简要介绍现有的一些主要的材料参数提取方法,然后提出了一种无需静电作用下两端固支梁吸合电压的显式解析表达式,而是利用决定静电作用固支梁弯曲挠度的微分方程直接计算吸合电压,再提取材料参数的算法.避免了在推导吸合电压的显式表达式过程中可能引入的误差,有利于保证材料参数测量的精度.模拟结果表明这种算法速度快、精度高,对实际应用有较好的参考价值.
作 者： 戎华 陈涵 王鸣 RONG Hua CHEN Han WANG Ming 作者单位： 南京师范大学光电技术江苏省重点实验室,南京,210097 刊 名： 传感技术学报 ISTIC PKU 英文刊名： CHINESE JOURNAL OF SENSORS AND ACTUATORS 年，卷(期)： 2008 21(3) 分类号： O484.2 O484.5 关键词： 材料参数测量 数值算法 吸合电压