脉冲电弧蒸发源的研究

脉冲电弧蒸发源的研究

本文介绍西安工业学院研制的脉冲电弧蒸发源的原渐变膜的性能指标.

作 者：   作者单位：   刊 名： 真空科学与技术学报  ISTIC EI PKU 英文刊名： JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY  年，卷(期)： 2004 24(z1)  分类号： O484.4  关键词： 脉冲电弧   蒸发源   离子镀   类金刚石膜   薄膜  

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