推荐文档列表

w
微波促进下一步法合成咪唑型离子液体研究

推荐：
w
甲烷重整制氢用催化剂的研究进展

推荐：
w
氧化锡基甲烷催化燃烧催化剂的硫中毒反应机理

推荐：
w
浮式直立圆柱体水动力系数研究

推荐：
w
中国物理学会通讯

推荐：
w
THE COMPARISON OF GREEN FUNCTION FOR QUASI-LINEAR ELLIPTIC EQUATION

推荐：
w
固体板及其背覆薄层厚度的两种低频超声反演定征方法比较

推荐：
w
急性三甲基锡中毒52例临床分析

推荐：
w
1-溴乙酰基薁-3-甲酸甲酯在离子液体中的亲核取代反应

推荐：
w
Effect of calcium ion on the adsorption of dissolved humic acid onto TiO2 particles in water

推荐：
w
有限群不可约特征标零点的一点标记

推荐：
w
Synthesis and Crystal Structure of a Tetranuclear Cu(Ⅰ) Complex with Vinyfidenebis(diphenylphosphine)

推荐：
w
T-C模型中纠缠原子与相干态光场相互作用平均光子数的演化

推荐：
w
Thermodynamics of Slag-desulphuration in VD Process

推荐：
w
两指标弱鞅的原子分解

推荐：
w
一类具功能反应的食饵与捕食系统的极限环

推荐：
w
跳出数学与生活的纠缠

推荐：
w
Complete and Partial Separability Conditions of Mixed State for a Quantum Network of Any Nodes

推荐：
w
2002年有机化学闪光点

推荐：
w
FAAS法测定原生态茶叶中的微量铁

推荐：
w
自旋交换算符在量子力学中的应用

推荐：
w
Cs2SO4-C2H5OH-H2O三元体系30℃和50℃的平衡溶解度研究

推荐：
w
InClPc/TiOPc复合单层光电导体中的电荷转移现象

推荐：
w
高效液相色谱-荧光检测法同时测定鱼肉组织中的诺氟沙星、环丙沙星和恩诺沙星残留

推荐：
w
国内银的分析测定研究进展(一)-国内光度法测定银的研究进展

推荐：
w
扫描电子声显微镜对骨组织的成像

推荐：
w
铜酞菁同质多晶现象的研究及其超细粒子的制备

推荐：
w
大家一起来节约(大班)

推荐：
w
Nickel(Ⅱ) Complexes Bearing NH2CH2CH2CH2NH2 and o-C6H4(NH2)2 Ligands:Synthesis, Structures and Their Ethylene Polymeriza

推荐：
w
大肠杆菌能生产糖蛋白吗

推荐：
w
对Niementowski反应的改进

推荐：
w
不确定非线性时滞系统的鲁棒可靠控制

推荐：
w
Dark Spatial Solitary Wave Due to Cascaded x(2) Nonlinearity

推荐：
w
三维非线性临界解析动态方程的局部渐近稳定性

推荐：
w
市售金银花的质量分析

推荐：
w
p型透明导电氧化物CuAlO2薄膜的研究进展

推荐：

脉冲工艺在薄膜制备中的应用

时间：2021-12-13 20:31:37 数理化学论文我要投稿

脉冲工艺在薄膜制备中的应用

本文综述了国内外脉冲工艺在电弧离子镀和磁控溅射中的应用.脉冲工艺为电弧离子镀净化大颗粒、增强膜基结合力、改善组织形貌、降低沉积温度等起到了重要作用.电弧或溅射离子镀高的离化率为脉冲工艺提供了最好的应用条件.最后,对脉冲工艺在薄膜制备中的应用前景进行了展望.

作者：作者单位：刊名：真空科学与技术学报 ISTIC EI PKU 英文刊名： JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY 年，卷(期)： 2004 24(z1) 分类号： O484.1 关键词：电弧离子镀脉冲工艺低温沉积

最新文章