脉冲激光沉积(PLD)薄膜技术的研究现状与展望
综述了脉冲激光沉积(PLD)薄膜技术的研究现状,并按照研究方向将整个研究领域分为三个部分:PLD法沉积薄膜的机理,PLD的工艺研究以及PLD法沉积的主要薄膜材料,分别进行了阐述,对相关的研究工作提出了建议,并对PLD技术的应用前景做了展望.
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