MOCVI法制备SiO2/SiO2复合材料
依据金属基化学气相渗透法(Metal Organic Chemical Vapor Infiltration,MOCVI)工艺理论基础,采用MOCVI法制备出SiO2/SiO2复合材料,并分析了载气流量、先驱体JH20温度和沉积温度对氧化硅基体渗透速率和SiO2/SiO2(石英玻璃)复合材料显微结构的影响.结果表明,优化条件为:JH20的温度为60℃,载气流量为500mL/min,氧气流量为15mL/min,沉积温度为600℃.
作 者： 郑勇 张立同 陈照峰 成来飞 徐永东 作者单位： 西北工业大学超高温结构复合材料国防科技重点实验室 刊 名： 航空制造技术 ISTIC 英文刊名： AERONAUTICAL MANUFACTURING TECHNOLOGY 年，卷(期)： 2007 ""(1) 分类号： V2 关键词： 复合材料 石英玻璃 MOCVI 制备条件