微机械梳状驱动音叉陀螺的误差源研究
定性地讨论了微机械梳状驱动音叉陀螺特有的一些误差源,主要有微机械结构的Brownian噪声、电路噪声、机械耦合误差及电子机械耦合误差等.对上述误差源的认识是微结构制造和电路设计的基础.
作 者: 李万玉 阮爱武 罗晋生 冯培德 LI Wan-yu RUAN Ai-wu LUO Jin-sheng FENG Pei-de 作者单位: 李万玉,冯培德,LI Wan-yu,FENG Pei-de(航空工业总公司第618研究所七室,陕西,西安,710065)阮爱武,RUAN Ai-wu(西北工业大学,自动控制系,陕西,西安,710072)
罗晋生,LUO Jin-sheng(西安交通大学,电子与信息学院,陕西,西安,710049)
刊 名: 航空学报 ISTIC EI PKU 英文刊名: ACTA AERONAUTICA ET ASTRONAUTICA SINICA 年,卷(期): 1999 20(5) 分类号: V241.6 关键词: 微机械梳状驱动 音叉陀螺 Brownian噪声 电路噪声 机械耦合误差 电子机械耦合误差