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音叉式硅微机械振动陀螺仪的粘滞阻尼研究
粘滞阻尼的研究对硅微机械振动陀螺仪的设计至关重要.而品质因数的大小反映了阻尼特性.本文首先理论分析了硅微型机械振动陀螺仪粘滞阻尼的耗能,然后根据耗能分析给出了驱动结构和敏感结构的品质因数.

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