音叉式硅微机械振动陀螺仪的粘滞阻尼研究
粘滞阻尼的研究对硅微机械振动陀螺仪的设计至关重要.而品质因数的大小反映了阻尼特性.本文首先理论分析了硅微型机械振动陀螺仪粘滞阻尼的耗能,然后根据耗能分析给出了驱动结构和敏感结构的品质因数.
作 者: 裘安萍 蔡体菁 周百令 王寿荣 Qiu Anping Cai Tijing Zhou Bailing Wang Shourong 作者单位: 东南大学仪器科学与工程系,南京,210096 刊 名: 东南大学学报(自然科学版) ISTIC EI PKU 英文刊名: JOURNAL OF SOUTHEAST UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION) 年,卷(期): 2000 30(1) 分类号: V2 关键词: 硅微机械振动陀螺仪 粘滞阻尼 品质因数