Z轴硅微机械陀螺仪温度特性研究
硅陀螺仪是近年来发展起来的一种新型角速度传感器,温度变化是其主要误差源之一.分析了温度变化对硅微陀螺仪的谐振频率和品质因数的影响,并选择常温下机械品质因数不同的两个陀螺在-40℃~80℃温度范围内进行测试,得出机械品质因数和谐振频率随温度变化规律.实验结果验证了陀螺仪谐振频率随温度升高而线形下降;温度变化时,封装陀螺仪抽真空度对陀螺机械品质因数产生明显影响.
作 者: 陈淑铃 杨波 王寿荣 CHEN Shu-ling YANG Bo WANG Shou-rong 作者单位: 东南大学仪器科学与工程学院,南京,210096 刊 名: 电子器件 ISTIC 英文刊名: CHINESE JOURNAL OF ELECTRON DEVICES 年,卷(期): 2008 31(6) 分类号: V241.59 关键词: 微机械陀螺仪 温度特性