基于光对准的多传感器轴装配误差补偿技术
含有多传感器的微机电系统在组装传感器时,一般存在着轴对准问题,轴的非对准误差能导致很大的系统测量误差.为此提出一种基于光对准的误差补偿方法,可以在不需要高精度轴对准的前提下,对装配后的组件进行后续误差检测和实时补偿,有效地消除装配误差对测量精度的影响.将该方法实施于微机电方位水平仪,用以测量姿态,通过仿真结果证实了方法的有效性.
作 者： 朱荣 周兆英 孙雪峰 作者单位： 清华大学,精密仪器与机械学系,北京,100084 刊 名： 清华大学学报(自然科学版) ISTIC EI PKU 英文刊名： JOURNAL OF TSINGHUA UNIVERSITY(SCIENCE AND TECHNOLOGY) 年，卷(期)： 2002 42(11) 分类号： V447 关键词： 微机电系统 多传感器 轴装配误差 光对准 误差补偿