磁悬浮转子微陀螺的电容检测系统分析和实现
介绍了一种新型磁悬浮转子微陀螺的电容检测方案,其特点是检测定子上径向分布的电容极板和悬浮转子形成差动电容的变化.检测电路为基于相关检测原理的交流电容电桥的方法.电路实现中采用积分电荷放大器作为前置级,对其输出和噪声进行了深入的分析.之后,前置级的输出信号经过低噪声放大器进行放大,再通过带通滤波以及相关解调等电路实现检测系统需要的输出幅值和信噪比.实验证明,实现的检测系统对角度输入有较好的线性响应,角度分辨率达到0.1°,即可检测到的电容变化约为1fF.
作 者： 刘武 黄晓刚 邵诗逸 陈文元 张卫平 LIU Wu HUANG Xiao-gang SHAO Shi-yi CHEN Wen-yuan ZHANG Wei-ping 作者单位： 上海交通大学微纳科学技术研究院薄模与微细加工教育部重点实验室微纳米加工国防实验室,上海,200030 刊 名： 测控技术 ISTIC PKU 英文刊名： MEASUREMENT & CONTROL TECHNOLOGY 年，卷(期)： 2006 25(1) 分类号： V241.5 TP212.1 关键词： 电容检测 相关解调 磁悬浮 微陀螺 微电子机械系统