含磷组分薄膜对InGaAsP/InP多量子阱无序处理的影响?
报道了采用不同的电介质薄膜SiO2、SiOxNy、Si3N4和SiOxPyNz及其组合用于InGaAsP/InP多量子阱材料的包封源.在高纯氮气保护下经850℃、7s的快速退火处理,结果发现:含磷组分SiOxPyNz电介质薄膜包封下的InGaAsP/InP量子阱带隙展宽十分显著,高达224meV,PL谱峰值波长蓝移342nm,半宽较窄仅为25nm,说明量子阱性能保持十分良好,并对此现象的成因做了初步分析.
作 者： 王永晨 张晓丹 赵杰 殷景志 杨树人 张淑云 作者单位： 王永晨,张晓丹,赵杰(天津师范大学物理系,天津,300074)殷景志,杨树人(吉林大学电子工程系,长春,130023)
张淑云(天津第四半导体器件厂,天津,300111)
刊 名： 半导体学报 ISTIC EI PKU 英文刊名： CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS 年，卷(期)： 2002 23(3) 分类号： O47 关键词： 量子阱混合互扩 无杂质空位扩散 等离子体增强化学气相淀积