干涉法测量铝薄膜的轴向应力

干涉法测量铝薄膜的轴向应力

将干涉法测量圆薄膜应力的方法推广到椭圆形铝薄膜,利用Stoney公式和牛顿环原理测量了常温下铝薄膜长轴和短轴方向上轴向应力的大小,给出了应力分布图像.

作 者： 周思 陈迅驰 周惠君 王思慧 ZHOU Si CHEN Xun-chi ZHOU Hui-jun WANG Si-hui   作者单位： 南京大学,物理学系,江苏,南京,210089  刊 名： 物理实验  PKU 英文刊名： PHYSICS EXPERIMENTATION  年，卷(期)： 2008 28(9)  分类号： O484.2  关键词： 薄膜应力   轴向应力   切向应力   Stoney公式   牛顿环   曲率半径  

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