纳米压痕法研究PZT压电薄膜的力学性能
PZT压电薄膜的力学性能如弹性模量、硬度等对于MEMS器件的结构设计、结构响应特性、服役性能等尤为重要.薄膜材料由于尺寸效应、表面效应等的作用,力学性能与宏观块体材料有显著差异.本文用纳米压痕法获得了PZT压电薄膜的弹性模量和硬度,考察了基底的影响,分析了退火时间对于其力学性能的影响,以及硬度和压入深度之间的压痕尺度效应.
许晓慧,XU Xiao-hui(中国科学技术大学,精密机械与精密仪器系,合肥,230027)
刊 名： 实验力学 ISTIC PKU 英文刊名： JOURNAL OF EXPERIMENTAL MECHANICS 年，卷(期)： 2007 22(6) 分类号： O34 O48 关键词： PZT压电薄膜 纳米压痕法 压痕尺度效应