衍射光学束匀滑器件性能的空间频谱分析
采用空间频谱方法分析了衍射光学束匀滑器件的焦面光强分布,重新定义了光能利用率及顶部不均匀性两个参数,由于其定义的溯源性,能够真实准确地评价束匀滑器件的设计性能.最后,采用这两个参数对精细化设计前后的衍射光学束匀滑器件性能进行了对比,结果证明了精细化设计的有效性.
作 者： 谭峭峰 严瑛白 金国藩 邬敏贤 徐端颐 作者单位： 清华大学精密测试技术与仪器国家重点实验室,北京,100084 刊 名： 中国激光 ISTIC EI PKU 英文刊名： CHINESE JOURNAL OF LASERS 年，卷(期)： 2002 29(8) 分类号： O436.1 关键词： 空间频谱 衍射光学器件 束匀滑 精细化设计