微电子机械器件压膜空气阻尼的一般化雷诺方程?
推导建立了一个用于微电子机械(MEMS)器件压膜空气阻尼的一般化微分方程.该方程很好地解决了分析有限尺寸孔板的边界和孔板的厚度对压膜阻尼的影响的困难.结合边界条件求解该方程可以得到各种压膜阻尼结构中的阻尼压强分布和阻尼力.以长条板为例得到了有限宽度和有限厚度孔板压膜阻尼的压强分布和阻尼力的解析解,在非孔板的条件下该解退化为一般传统雷诺方程的解,而在无限大薄孔板的极端条件下,该解也与传统雷诺方程在此条件下的解相一致,进一步证明了该方程的正确性.因此,该一般化的雷诺方程为MEMS器件的压膜阻尼设计提供了有效的手段.
作 者： 鲍敏杭 孙远程 杨恒 王跃林 Bao Minhang Sun Yuancheng Yang Heng Wang Yuelin 作者单位： 鲍敏杭,孙远程,杨恒,Bao Minhang,Sun Yuancheng,Yang Heng(复旦大学微电子学系,专用电路国家重点实验室,上海,200433)王跃林,Wang Yuelin(中国科学院上海微系统和信息技术研究所,传感器国家重点实验室,上海,200050)
刊 名： 半导体学报 ISTIC EI PKU 英文刊名： CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS 年，卷(期)： 2002 23(12) 分类号： O553.2+2 关键词： 压膜空气阻尼 微电子机械器件 雷诺方程 squeeze-film air damping MEMS Reynolds' equation