p型透明导电氧化物CuAlO2薄膜的研究进展
透明导电氧化物(TCO)的出现开拓了光电子器件研究的新领域.但p型TCO的相对匮乏严重制约了透明氧化物半导体(TOS)相关器件的开发与应用.CuAlO2作为一种天然的p型TCO成为近年来p型TCO的研究热点.介绍了p型TCO的研究现状,综述了不同制备方法制备p型CuAlO2薄膜的研究进展,以及在器件方面的应用,并对其前景进行了展望.
作 者：
李军 兰伟 张铭 董国波 严辉 LI Jun LAN Wei ZHANG Ming DONG Guobo YAN Hui
作者单位：
北京工业大学材料学院薄膜实验室,北京,100022
刊 名：
材料导报 ISTIC PKU
英文刊名：
MATERIALS REVIEW
年，卷(期)：
2007 21(3)
分类号：
O6
关键词：
透明导电氧化物(TCO) p型TCO CuAlO2薄膜
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