高温下金属薄膜生长初期的模拟研究

高温下金属薄膜生长初期的模拟研究

采用实际的生长模型和物理参量，用Monte Carlo方法对高温下金属薄膜的生长过程进行了模拟研究.综合考虑了原子沉积、扩散、成核、生长和扩散原子的再蒸发、原子沿岛周界扩散和岛的合并等众多过程后，模拟得到与实验结果相当一致的薄膜生长形貌及其相应的定量结果.通过动态统计薄膜生长过程中的岛数目及薄膜生长率，得到实验中不易直接获得的高温下薄膜生长的许多细节，如岛数目和薄膜生长率随表面温度、覆盖度变化的详细情况等.

作 者： 吴锋民 施建青 吴自勤   作者单位： 吴锋民(浙江工业大学科学研究中心;浙江工业大学应用物理系)

施建青(浙江工业大学应用物理系,)

吴自勤(中国科学技术大学天文与应用物理系,) 

刊 名： 物理学报  ISTIC SCI PKU 英文刊名： ACTA PHYSICA SINICA  年，卷(期)： 2001 50(8)  分类号： O484  关键词： 薄膜   MonteCarlo模拟   成核   岛密度   薄膜生长率  

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