电弧离子镀硬质梯度薄膜技术

电弧离子镀硬质梯度薄膜技术

电弧离子镀设备若具有必要的功能条件,就可用纯金属分离靶弧流控制技术来制取多元硬质梯度薄膜,本工作明确合成梯度薄膜的工艺原则,并以TiAl多层合金梯度薄膜和(Ti,M)N(M为Zr,Nb等元素)硬质梯度薄膜为例,进一步展开说明该技术的工艺过程,对实际效果给予评定.结果表明,用电弧离子镀技术制备多元硬质梯度薄膜,具有操作简便、沉积速度快、成分调节范围宽等优点,为多元复合硬质薄膜的合金强化机制与结构优化研究,提供了关键的技术条件.

作 者： 林国强   作者单位： 大连理工大学三束材料表面改性国家重点实验室,大连,116024  刊 名： 真空科学与技术学报  ISTIC EI PKU 英文刊名： VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY  年，卷(期)： 2002 22(3)  分类号： O484.1  关键词： 电弧离子镀   硬质薄膜   梯度薄膜