离子注入GaN的拉曼散射研究

离子注入GaN的拉曼散射研究

研究了离子注入前后GaN的拉曼散射光谱,特别是其中几个在各种离子注入后都存在的拉曼散射峰,如298,362和661cm-1峰的性质,峰值强度随注入元素原子量、注入剂量和退火温度的变化关系.上述三个拉曼散射峰的强度都随注入元素原子量的增加而降低.当注入剂量增大时,362和661cm-1峰值强度减少,而298cm-1峰值强度却增大.随退火温度的升高,这三个拉曼散射峰的强度先增加后降低.对所观察到的实验现象和这三个峰的起源进行了分析和讨论.

作 者： 张纪才 戴伦 秦国刚 应丽贞 赵新生   作者单位： 张纪才(山东曲阜师范大学物理系)

戴伦(北京大学人工微结构与介观物理国家重点实验室)

秦国刚(北京大学物理学院,北京,100871)

应丽贞,赵新生(北京大学分子动态与稳态结构国家重点实验室,化学与分子工程学院物理化学研究所,北京,100871) 

刊 名： 物理学报  ISTIC SCI PKU 英文刊名： ACTA PHYSICA SINICA  年，卷(期)： 2002 51(3)  分类号： O4  关键词： GaN   离子注入   拉曼散射   局域振动  

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