离子注入GaN的拉曼散射研究
研究了离子注入前后GaN的拉曼散射光谱,特别是其中几个在各种离子注入后都存在的拉曼散射峰,如298,362和661cm-1峰的性质,峰值强度随注入元素原子量、注入剂量和退火温度的变化关系.上述三个拉曼散射峰的强度都随注入元素原子量的增加而降低.当注入剂量增大时,362和661cm-1峰值强度减少,而298cm-1峰值强度却增大.随退火温度的升高,这三个拉曼散射峰的强度先增加后降低.对所观察到的实验现象和这三个峰的起源进行了分析和讨论.
戴伦(北京大学人工微结构与介观物理国家重点实验室)
秦国刚(北京大学物理学院,北京,100871)
应丽贞,赵新生(北京大学分子动态与稳态结构国家重点实验室,化学与分子工程学院物理化学研究所,北京,100871)
刊 名： 物理学报 ISTIC SCI PKU 英文刊名： ACTA PHYSICA SINICA 年，卷(期)： 2002 51(3) 分类号： O4 关键词： GaN 离子注入 拉曼散射 局域振动