基于DMD高分辨率激光直写系统设计与实现
提出了利用数字微反射镜(DMD)实现高分辨率高速度光刻图像的方法,通过对激光直写系统Holomaker-Ⅲ-B光路的改装,将DMD代替原来的方孔作为光调制器,把DMD上的图像成像在光刻胶板上,得到一个缩小倍率的高质量的任意光斑图形.此系统分辨率能够达到6000DPI,能够制作出高质量的光变图像,例如2D图像,2D/3D图像,3D图像以及各种精密的微刻图像和文字,并给出了实验结果.
作 者： 陆亚聪 陈林森 魏国军 邵洁 周小红 LU Ya-cong CHEN Lin-sen WEI Guo-jun SHAO Jie Zhou Xiao-hong 作者单位： 苏州大学信息光学工程研究所,江苏,苏州,215006 刊 名： 激光杂志 ISTIC PKU 英文刊名： LASER JOURNAL 年，卷(期)： 2007 28(6) 分类号： O436.1 关键词： 激光直写 数字微反射镜 光变图像