原子氢辅助分子束外延生长台阶状表面形貌的研究?

原子氢辅助分子束外延生长台阶状表面形貌的研究?

研究了分子束外延中引入原子氢后,原子氢对外延层表面形貌特征形成的诱导作用.原子力显微镜(AFM)测试表明,在(311)A GaAs表面,原子氢导致了台阶状形貌的形成,在这种台阶状表面进一步生长了InAs量子点,测试结果表明其位置分布的有序化受到台阶高度和台阶周期的制约.这为实现量子点结构的有序化控制生长提供了一定的实验参考.

作 者： 周大勇 澜清 孔云川 苗振华 封松林 牛智川   作者单位： 中国科学院半导体研究所,超晶格和微结构国家重点实验室,北京,100083  刊 名： 半导体学报  ISTIC EI PKU 英文刊名： CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS  年，卷(期)： 2003 24(2)  分类号： O484.1  关键词： 分子束外延   原子力显微镜   台阶积累   量子点  

【原子氢辅助分子束外延生长台阶状表面形貌的研究?】相关文章：

分子束外延生长ZnSe自组织量子点光、电行为研究?04-27

分子束外延生长液晶光阀用ZnSxSe1-x薄膜的研究04-27

等离子体增强分子束外延生长ZnO薄膜及光电特性的研究04-29

生长温度和表面增原子对外延薄膜中失配位错形成的影响04-29

He注入单晶Si表面形貌的变化研究04-27

膨胀石墨的形貌结构与表面功能基团的XPS研究04-27

双原子分子离解能的精确研究04-29

等级状CdS树枝晶的形貌控制及生长机理04-26

《分子和原子》教案03-05

分子束外延GaN薄膜的X射线光电子能谱和俄歇电子能谱研究04-28