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原子氢辅助分子束外延生长台阶状表面形貌的研究?

时间:2021-12-07 17:40:35 数理化学论文 我要投稿

原子氢辅助分子束外延生长台阶状表面形貌的研究?

研究了分子束外延中引入原子氢后,原子氢对外延层表面形貌特征形成的诱导作用.原子力显微镜(AFM)测试表明,在(311)A GaAs表面,原子氢导致了台阶状形貌的形成,在这种台阶状表面进一步生长了InAs量子点,测试结果表明其位置分布的有序化受到台阶高度和台阶周期的制约.这为实现量子点结构的有序化控制生长提供了一定的实验参考.

原子氢辅助分子束外延生长台阶状表面形貌的研究?

作 者: 周大勇 澜清 孔云川 苗振华 封松林 牛智川   作者单位: 中国科学院半导体研究所,超晶格和微结构国家重点实验室,北京,100083  刊 名: 半导体学报  ISTIC EI PKU 英文刊名: CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS  年,卷(期): 2003 24(2)  分类号: O484.1  关键词: 分子束外延   原子力显微镜   台阶积累   量子点