推荐文档列表

450mm晶圆缓行

时间:2021-12-07 09:47:39 数理化学论文 我要投稿

450mm晶圆缓行

为了提高产品的生产率和利润,近年来晶圆面积不断扩大,大约每10年升级一次.1991年业界开始投产200mm晶圆,2001年起步向300mm晶圆过渡,依次类推.

作 者: 陶然   作者单位:   刊 名: 电子产品世界  ISTIC 英文刊名: ELECTRONIC ENGINEERING & PRODUCT WORLD  年,卷(期): 2008 15(12)  分类号:   关键词: