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450mm晶圆缓行
时间:2021-12-07 09:47:39
数理化学论文
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450mm晶圆缓行
为了提高产品的生产率和利润,近年来晶圆面积不断扩大,大约每10年升级一次.1991年业界开始投产200mm晶圆,2001年起步向300mm晶圆过渡,依次类推.
作 者: 陶然 作者单位: 刊 名: 电子产品世界 ISTIC 英文刊名: ELECTRONIC ENGINEERING & PRODUCT WORLD 年,卷(期): 2008 15(12) 分类号: 关键词:
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