可编程相位光栅的结构设计与制作工艺
可编程相位光栅技术在光通讯领域有较广的应用,也可作为微型光谱仪的新颖色散器件.该文设计了一种基于MEMS的可编程相位光栅,其特征参数可以通过编程控制和改变.通过经典理论建模与分析,设计了可编程相位光栅的结构; 并对光栅的光带结构参数进行了优化,从而有利于可编程相位光栅功能的实现,提高了制作的可靠性和成功率; 设计了针对可编程相位光栅的表面硅微工艺,并对改善应力、去牺牲层和防粘连等关键问题进行了分析,改进了工艺,成功研制出样品,其结构尺寸约为 4 mm×6 mm, 有效工作部分的面积约为4 mm×2 mm.
作 者： 殷玲 陈非凡 作者单位： 清华大学,精密仪器与机械学系,北京,100084 刊 名： 清华大学学报(自然科学版) ISTIC EI PKU 英文刊名： JOURNAL OF TSINGHUA UNIVERSITY(SCIENCE AND TECHNOLOGY) 年，卷(期)： 2003 43(8) 分类号： O433.4 TN403 TH744 关键词： 光谱分析 微光机电系统 微机电系统 可编程相位光栅 表面微工艺