用光谱法测试相位光栅层的厚度
按傅里叶光学,当平面波通过光栅时,不同级次的衍射角和强度由光栅而定,根据光栅的衍射频谱可以反推出光栅本身的多种信息.一个新的方法就是选用不同级次的功率谱来测量相位光栅的深度.对3块光栅进行了测试,并给出计算的光栅深度.同时给出6块光栅的测试结果--多级衍射强度,结果表明误差值不大于5%.
作 者： 曹向群 连华 李何立 作者单位： 浙江大学国家光学仪器工程技术研究中心,杭州,3l0027 刊 名： 中国激光 ISTIC EI PKU 英文刊名： CHINESE JOURNAL OF LASERS 年，卷(期)： 2004 31(z1) 分类号： O438.2 关键词： 相位光栅 测试 衍射谱