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行星式化学气相沉积反应器内对流涡旋的数值模拟
摘要：针对三重进口行星式CVD反应器的输运过程进行了二维数值模拟研究.通过改变反应腔几何尺寸、导流管位置、三重进口流量组合、压强、温度等条件,研究反应器内对流涡旋的相应变化.根据模拟结果,对这类反应器中输运现象与外部参数的'关系,特别是反应腔内对流涡旋的产生和发展作了较全面的分析和讨论,给出了抑制对流涡旋、获得薄膜生长所需的最佳输运过程的条件. 作者： 左然[1] 张红[1] 刘祥林[2] Author： ZUO Ran[1] ZHANG Hong[1] LIU Xiang-lin[2] 作者单位： 江苏大学能源与动力工程学院,江苏,镇江,212013中国科学院半导体研究所,北京,100080 期 刊： 工程热物理学报 ISTICEIPKU Journal： JOURNAL OF ENGINEERING THERMOPHYSICS 年，卷(期)： 2005, 26(4) 分类号： H8115 Q4725 关键词： 化学气相沉积 输运过程 热对流 数值模拟 机标分类号： TQ3 TN3 机标关键词： 行星式 化学气相沉积 反应器 对流涡旋 输运过程 反应腔 外部参数 模拟研究 模拟结果 流量组合 进口 几何尺寸 二维数值 薄膜生长 相应变 导流管 压强 温度 位置 基金项目： 国家自然科学基金，国家高技术研究发展计划(863计划)，江苏大学校科研和教改项目 行星式化学气相沉积反应器内对流涡旋的数值模拟[期刊论文] 工程热物理学报 --2005, 26(4)左然 张红 刘祥林针对三重进口行星式CVD反应器的输运过程进行了二维数值模拟研究.通过改变反应腔几何尺寸、导流管位置、三重进口流量组合、压强、温度等条件,研究反应器内对流涡旋的相应变化.根据模拟结果,对这类反应器中输运现象与外部参...【行星式化学气相沉积反应器内对流涡旋的数值模拟】相关文章：
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