双电容接口式微机械陀螺的信号检测方法

双电容接口式微机械陀螺的信号检测方法

在研究双电容接口式微机械陀螺结构与分析传统差分电容检测方法对其驱动力的影响的基础上,提出了一种适合于该陀螺的新型信号检测方法,此方法具有两个显著特点:第一,能够使公共电容极板偏置到零电压,消除其对驱动力的影响,进而提高微机械陀螺的系统灵敏度;第二,能够消除直流电压的不匹配以及失调电压对输出信号的影响.最后,通过HSPICE软件仿真验证了该方法的可行性.

作 者： 莫冰 刘晓为 谭晓昀 尹亮 丁学伟 汤佳郁 MO Bing LIU Xiao-wei TAN Xiao-yun YIN Liang DING Xue-wei TANG Jia-yu   作者单位： 哈尔滨工业大学MEMS中心,哈尔滨,150001  刊 名： 传感技术学报  ISTIC PKU 英文刊名： CHINESE JOURNAL OF SENSORS AND ACTUATORS  年，卷(期)： 2006 19(5)  分类号： V2  关键词： 微机械陀螺   驱动力   双电容接口   信号检测  

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