Mo离子注入对金刚石涂层附着性能的影响
采用Mo离子注入工艺对YG6硬质合金基体表面进行处理,用微波等离子体CVD(MPCVD)法沉积金刚石涂层,研究了Mo离子注入工艺对金刚石涂层附着性能的影响.结果表明,Mo离子注入后,硬质合金基体表面的化学成分发生了明显变化;采用适当剂量的Mo离子注入基体,可使CVD金刚石涂层的附着性能显著提高.
作 者： 杨仕娥 姚宁 王小平 李会军 马丙现 秦广雍 张兵临 作者单位： 郑州大学物理工程学院,郑州,450052 刊 名： 物理学报 ISTIC SCI PKU 英文刊名： ACTA PHYSICA SINICA 年，卷(期)： 2002 51(2) 分类号： O4 关键词： 金刚石涂层 Mo离子注入 硬质合金基体 附着性能