稀土Ce2O3掺杂TiO2薄膜的结构和光学特性
采用真空热蒸发法在玻璃、单晶硅衬底上制备Ce2O3掺杂TiO2薄膜,研究热处理和Ce2O3掺杂对薄膜性能的影响.结果显示,热处理可明显改善薄膜的结构和光学性能,Ce2O3掺杂可降低薄膜晶型转化温度.TiO2薄膜(玻璃衬底)经600℃热处理由锐钛矿转为金红石结构;当掺Ce2O3含量为5at%时热处理温度为500℃薄膜就已开始发生晶型转变.薄膜表面颗粒较均匀,存在程度不同的孔洞和颗粒聚集现象;掺Ce2O3后薄膜表面致密度明显增强.薄膜(玻璃衬底)的光学带隙从3.74 eV降至3.60 eV.
作 者： 汪良 李健 高燕 WANG Liang LI Jian GAO Yan 作者单位： 内蒙古大学理工学院物理系,内蒙古,呼和浩特,010021 刊 名： 真空 ISTIC PKU 英文刊名： VACUUM 年，卷(期)： 2007 44(6) 分类号： O484 关键词： 真空热蒸发 TiO2薄膜 Ce2O3掺杂 结构和光学特性