CVD金刚石薄膜在微机电系统(MEMS)中的应用

CVD金刚石薄膜在微机电系统(MEMS)中的应用

金刚石薄膜由于其独特的物理、化学和电学等特性,使其作为在极具发展潜力的MEMS中一种理想的材料,越来越得到人们的重视.此外近来各种金刚石薄膜的合成和加工方法已不断发展,使金刚石薄膜MEMS已逐步从原理的证明转向了实际的应用.本文简述了金刚石膜在MEMS中应用的技术基础及其在MEMS中应用的最新进展,着重介绍了金刚石喷嘴在生物芯片中的应用;半导体金刚石探针(既可用作隧道扫描显微镜探针又可作为一种抛光表面的微型工具);世界上最微型的金刚石外科手术刀及微型电夹.

作 者： 郭江   作者单位： 成都理工大学信息工程学院,四川,成都,610059  刊 名： 功能材料  ISTIC EI PKU 英文刊名： JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS  年，卷(期)： 2003 34(3)  分类号： O484.42  关键词： 金刚石薄膜   微机电系统   选择生长  

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