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透射光谱法测试薄膜的光学参数
推导了使用透射光谱极值法来确定薄膜光学参数的理论公式,并对溶胶-凝胶法制作的掺不同浓度二氧化锡的二氧化硅薄膜的折射率和厚度进行了计算.由于透射光谱法来确定薄膜的光学参数时需要其有一定的厚度来形成干涉峰,而用溶胶凝胶浸渍法单次提拉的薄膜厚度太薄,因此用多次提拉的方法来增加厚度.最后借助于柯西色散公式,在其它波段对折射率进行了拟合.结果表明,薄膜的折射率随着二氧化锡含量的增加而增加,相同提拉次数的薄膜厚度也基本相同.
作 者： 顾晓明 贾宏志 王铿 朱一 GU Xiaoming JIA Hongzhi WANG Keng ZHU Yi 作者单位： 上海理工大学,光电信息与计算机工程学院,上海,200093 刊 名： 光学仪器 ISTIC 英文刊名： OPTICAL INSTRUMENTS 年，卷(期)： 2009 31(2) 分类号： O484.5 关键词： 透射光谱 薄膜 光学参数 折射率【透射光谱法测试薄膜的光学参数】相关文章：
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