三轴微机械陀螺仪的结构设计与仿真
提出了一种适应国内加工条件的三轴微陀螺仪,依据三轴陀螺的结构和工作原理,利用ANSYS有限元仿真软件对三轴陀螺的设计进行了计算和仿真.在此基础上,通过调节结构参数实现各轴驱动模态与敏感模态固有频率的匹配以提高各轴的灵敏度.最后介绍了加工所采用的工艺.
作 者： 唐群 王寿荣 TANG Qun WANG Shou-rong 作者单位： 东南大学仪器科学与工程系,南京,210096 刊 名： 传感技术学报 ISTIC PKU 英文刊名： CHINESE JOURNAL OF SENSORS AND ACTUATORS 年，卷(期)： 2006 19(5) 分类号： V2 TP3 关键词： 三轴 微机械陀螺 ANSYS仿真