热处理对溶胶-凝胶TiO2薄膜的特性影响

热处理对溶胶-凝胶TiO2薄膜的特性影响

研究了热处理对溶胶-凝胶法制备的TiO2薄膜材料的晶体结构、致密化以及光学特性的影响结果表明TiO2溶胶颗粒的最低结晶化温度为400℃,晶体尺寸随着热处理温度的升高而增大;TiO2薄膜的厚度随着热处理温度的升高从120nm减小到47nm,相应的折射率则从1.85增加到2 3;同时,TiO2薄膜的孔洞率随着热处理温度的升高从0.23降低到0.122,密度则从2.83 g.cm-3增加到3.73 g.cm-3

作 者： 吴广明 马建华 魏建东 S.M.Attia   作者单位： 同济大学波耳固体物理研究所,  刊 名： 同济大学学报(自然科学版)  ISTIC EI PKU 英文刊名： JOURNAL OF TONGJI UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)  年，卷(期)： 2001 29(11)  分类号： O484  关键词： 溶胶-凝胶法   TiO2薄膜   密度  

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