用标准测温锥测定微波等离子体反应腔温度及其加热区域
针对微波等离子体中样品温度难于准确测定的难题,通过观察微波等离子体中标准测温锥的弯倒情况,测定了反应腔的温度,用于指示相同条件下的样品温度,并和红外辐射高温计法进行了对比,结果发现两种方法具有较好的一致性,而且标准测温锥测定的温度可能更接近于和其性能相近材料的样品温度.另外,还根据标准测温锥中有机粘合剂的碳化痕迹,快速确定了反应腔中的加热区域.
作 者： 季金苟 程顺巧 冉均国 苟立 王兵 傅小妮 作者单位： 四川大学,无机材料系,四川,成都,610065 刊 名： 四川大学学报(工程科学版) ISTIC EI PKU 英文刊名： JOURNAL OF SICHUAN UNIVERSITY(ENGINEERING SCIENCE EDITION) 年，卷(期)： 2003 35(4) 分类号： O53 TH811 关键词： 微波等离子体 标准测温锥 温度测定 加热区域